[V-9] (株)サーモ理工

■超高温　スーパーRTA装置（SR1800D) ■集光照射式赤外線真空炉（IVF298W) ■均温熱処理装置（GFA430VN)　他

[P-4] SCIVAX(株)

■【ナノインプリント受託サービス】シミュレーション受託、モールド作成、試作、量産まで一連の受託サービスをご紹介いたします。

[S-1] サイバネットシステム(株)　ビジュアリゼーション事業部

■汎用可視化ソフトウェアAVS/Express

[S-1] サイバネットシステム(株)　オプティカル事業部

■DiffractMOD:　RCWA法による回折光学素子解析ソフトウエア ■FullWAVE：FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア ■BeamPROP：BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア■FemSIM:FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア

[A-18] （一財）材料科学技術振興財団

■受託分析サービスを事例をもとにご紹介します。

[V-13] サエス･ゲッターズ･エス･ピー･エー　日本支店

■NEG（Non Evaporable Getter)ポンプ：CapaciTorr　シリーズ、NEXTORR　シリーズ ■焼結型NEG　（porous sintered type of getter material)

[X-2] 坂口電熱(株)

■ミニマルレーザ加熱炉: 新半導体製造システム「ミニマルファブ」に対応したアニール装置。0.5インチ径ウェハを1200℃/1.5秒の急速加熱と均一加熱を実現■薬液ヒーター: 熱電対内蔵型のフッ素樹脂面状ヒーター。薬液中にヒーターを浸けたままの直接加熱を実現。 ■各種ヒーター、センサー、コントローラー等

[X-3] (株)魁半導体

■プラズマ装置

[E-8] (株)サムウエイ

■高周波増幅器

■高周波電源

■ポストアンプ

■RFコンポーネント

[T-14] サムコ(株)

■ICPドライエッチング装置を紹介します。サムコのICPドライエッチング装置には、独自のICPソースであるトルネードICP?コイルが搭載されています。トルネードICP?とは、サムコのプラズマに対する豊富な知識と経験から独自開発された誘導結合方式プラズマ源です。渦巻き状に構成された特殊コイル電極が次世代プロセスに不可欠なエッチング技術を可能としました。