2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[SP-7] テガサイエンス(株)

■薄膜成膜システムおよびコンポーネント◆ナノクラスターソース◆RFアトム/イオンソース◆電子ビーム蒸着源◆サーマルガスクラッカー◆有機蒸着源◆スパッタソース

[A-12] (有)テク

(有)テク (1)SPECS Surface Nano Analysis社:分析機器

(2)SPECS Zurich社:Nanonis SPMコントロールシステム

(3)Zurich Instruments社:高速ロックインアンプ

(4)Ferrovac社:UHV精密真空部品

(5)ソフトワークス社:ハンディAFMシステム

[SP-9] (株)テクノポート

■Prevac社製 ・X線源 ・紫外線源 ・走査型電子銃 ・チャンバー照射用LEDライトシステム ・蒸着用成膜コントローラ ■UHV Design社製 ・回転導入機 ・トランスファーロッド ・ウォーブルスティック ・中空型上下機構

[X-17] テクノロジーリンク(株)

■カナダZaber社のコントローラ内蔵精密ステージ・リニアアクチュエータおよび位置決め機器多数。イタリアLika社(光学式、磁気式)ロータリ・リニアエンコーダおよびイスラエルNetzer社 電気式エンコーダ。英国AML社UHVイオンゲージ&コントローラおよびUHVモータ。

[P-20] デフトップ(株)

■デジタル3D顕微鏡 ZeeCam(お手持ちの顕微鏡カメラポートにアドオン可能) ■デジタル3D顕微鏡ZeeScope(小型で装置組込可能スタンドアロンタイプ)