2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[P-4] SCIVAX(株)

■【ナノインプリント受託サービス】シミュレーション受託、モールド作成、試作、量産まで一連の受託サービスをご紹介いたします。

[X-2] 坂口電熱(株)

■ミニマルレーザ加熱炉: 新半導体製造システム「ミニマルファブ」に対応したアニール装置。0.5インチ径ウェハを1200℃/1.5秒の急速加熱と均一加熱を実現■薬液ヒーター: 熱電対内蔵型のフッ素樹脂面状ヒーター。薬液中にヒーターを浸けたままの直接加熱を実現。 ■各種ヒーター、センサー、コントローラー等

[T-14] サムコ(株)

サムコ(株) ■ICPドライエッチング装置を紹介します。サムコのICPドライエッチング装置には、独自のICPソースであるトルネードICP?コイルが搭載されています。トルネードICP?とは、サムコのプラズマに対する豊富な知識と経験から独自開発された誘導結合方式プラズマ源です。渦巻き状に構成された特殊コイル電極が次世代プロセスに不可欠なエッチング技術を可能としました。