[11a-B2-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2015年3月11日(水) 09:00 〜 11:45 B2 (6B-102)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:00 〜 09:15

[11a-B2-1] デスクトップ型液晶マトリックス投影露光装置の最適Fナンバの検討

〇堀内敏行¹、小山宗一郎¹、小林宏史¹ (1.東京電機大工)

09:15 〜 09:30

上田直樹¹、田中利樹¹、菊田久雄¹、川田博昭¹、笹子勝¹、〇平井義彦¹ (1.大阪府立大)

09:30 〜 09:45

〇池田宏幸¹、諏訪輝¹、勝海久和¹、對馬弘朗¹、熊崎貴仁¹、黒須昭彦¹、太田毅¹、柿崎弘司¹、松永隆¹、溝口計¹ (1.ギガフォトン)

09:45 〜 10:00

〇山口明啓¹、松元健¹、岡田育夫²、櫻井郁也²、内海裕一¹ (1.兵庫県大高度研, 2.名古屋大学)

10:00 〜 10:15

〇藤野貴大¹、田中祐輔¹、原田哲男¹、永田豊²、渡邊健夫¹、木下博雄¹ (1.兵庫県立大学, 2.理化学研究所)

10:15 〜 10:30

〇井口晴貴¹ (1.兵庫県立大)

休憩 (10:30 〜 10:45)

10:45 〜 11:00

〇西川宏之¹、松岡北斗¹、佐野遼¹、林英臣¹、前川康成² (1.芝浦工大工, 2.原子力機構)

11:00 〜 11:15

〇高山智寛¹、池田紳悟¹、岸村由紀子¹、浅田裕法¹、津川直樹²、赤鹿洋介²、星野亮一³ (1.山口大学, 2.ナード研究所, 3.グルーオンラボ)

11:15 〜 11:30

〇誉田明宏¹、山本洋揮¹、光安將騎¹、古澤孝弘¹、吉武秀介² (1.阪大産研, 2.NuFlare Technology)

11:30 〜 11:45

〇下向主真¹、川田博昭¹、安田雅昭¹、平井義彦¹ (1.大阪府大工)