2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

セッション情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

休憩 (15:30 〜 15:45)

15:45 〜 16:00

〇西村 祐典1、林 隆平1、中澤 寛一1、石田 誠1、澤田 和明1、石井 仁1、町田 克之2, 3、益 一哉2、王 常楽4、飯田 健一郎4、齋藤 光正4、吉田 眞一4 (1.豊橋技科大, 2.東工大, 3.NTTアドバンストテクノロジ, 4.九州大学医学研究院)

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