[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月12日(木) 13:15 〜 19:00 C1 (6C-104)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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13:15 〜 13:30

[12p-C1-1] ラマン解析より求めたダイヤモンドライクカーボンの形成要素

〇鷹林将¹、楊猛³、高桑雄二³、高萩隆行² (1.東北大・通研, 2.広島大・先端研, 3.東北大・多元研)

13:30 〜 13:45

[12p-C1-2] ダイヤモンドライクカーボン薄膜の耐熱性向上に関する分光学的解析

〇鷹林将¹、高萩隆行² (1.東北大・通研, 2.広島大・先端研)

13:45 〜 14:00

[12p-C1-3] 高周波マグネトロンスパッタリング法により堆積したアモルファス状炭素膜の構造と光学定数

〇荒川悟¹、中谷恭之¹、周小龍¹、トゥンミーサラユット¹、小松啓志¹、大塩茂夫¹、齋藤秀俊¹ (1.長岡技科大)

14:00 〜 14:15

▲ [12p-C1-4] The chemical information evaluation of hydrogenated amorphous carbon films by XPS and NEXAFS at different thicknesses

〇(D)Sarayut Tunmee¹, Ratchadaporn Supruangnet², Hideki Nakajima², Xiaolong Zhou¹, Yasuyuki Nakaya¹, Satoru Arakawa¹, Keiji Komatsu¹, Shigeo Ohshio¹, Kazuhiro Kanda³, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.SLRI, 3.LASTI, Univ. of Hyogo)

14:15 〜 14:30

[12p-C1-5] 熱CVDアモルファスカーボンの低温成膜技術

〇北村昌幸¹、水永覚¹、清水亮¹、柿本明修¹、早川欣延²、濱田康弘³ (1.東京エレクトロン東北, 2.東京エレクトロン宮城, 3.東京エレクトロン)

14:30 〜 14:45

△ [12p-C1-6] フィルタードアーク蒸着においてDCバイアスで成膜したDLC膜の諸特性

〇藤井裕真¹、今井貴大¹、宮本優¹、須田善行¹、滝川浩史¹、田上英人²、神谷雅男³、瀧真⁴、長谷川祐史⁴、辻信広⁴、金子智⁵、安井治之⁶、國次真輔⁷、川口雅弘⁸、三浦健一⁹ (1.豊橋技科大, 2.北九州高専, 3.伊藤光学, 4.オンワード技研, 5.神奈川県産技セ, 6.石川工試, 7.岡山県工技セ, 8.東京都産技研, 9.大阪府産技研)

休憩 (14:45 〜 15:00)

15:00 〜 15:15

▲ [12p-C1-7] Formation of popcorn-like nanostructure in C₆₀-incorporated DLC by exposing to H₂O vapor

〇(DC)Wei Xie¹, Aiko Kawahito¹, Takashi Yanase¹, Taro Nagahama², Toshihiro Shimada² (1.Graduate School of Chemical Sciences and Engineering, Hokkaido University, 2.Hokkaido University)