[12p-C3-1~4] リソグラフィ技術の最新動向

2015年3月12日(木) 13:15 〜 15:30 C3 (6C-201)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:15 〜 14:00

[12p-C3-1] リソグラフィ技術の発展とEUVリソグラフィの最新動向

〇岡崎信次¹ (1.ギガフォトン（株）)

14:00 〜 14:30

〇八重樫英民¹、小山賢一¹、山内祥平¹、原亜梨沙¹、名執桜子¹、大和雅俊¹、岡部憲明¹、小池恭平¹ (1.東京エレクトロン)

14:30 〜 15:00

〇吉元健治¹、深渡瀬健¹、堀義宗¹、銭谷優佑¹、大嶋正裕¹ (1.京大)

15:00 〜 15:30

〇岩本和徳¹、酒井啓太¹、岩永武彦¹、高林幸夫¹ (1.キヤノン株式会社)