13:00 〜 13:15
〇池田 伸一1, 2、西村 健史3、小澤 哲也4、長澤 亨3、高須 誠一3、原 史朗1, 2 (1.産業技術総合研究所, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.キヤノンマシナリー, 4.リガク)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年3月14日(土) 13:00 〜 15:00 A29 (6A-204)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇池田 伸一1, 2、西村 健史3、小澤 哲也4、長澤 亨3、高須 誠一3、原 史朗1, 2 (1.産業技術総合研究所, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.キヤノンマシナリー, 4.リガク)
13:15 〜 13:30
〇三浦 典子1、相澤 洸1, 2、山田 武史1, 2、伊藤 孝宏1, 3、遠江 栄希1、池田 伸一1, 4、石田 夕起1, 4、三ケ原 孝則1、大西 康弘1, 2、クンプアン ソマワン1, 4、原 史朗1, 4 (1.ミニマルファブ, 2.米倉製作所, 3.オリエンタルモーター, 4.産総研)
13:30 〜 13:45
〇中戸 克彦1、居村 史人1、浅野 均1、鈴木 真之佑1, 3、松田 祥吾1, 3、柳沼 綾美1, 3、森川 清彦1, 3、服部 昌1, 3、池田 伸一1, 2、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産業技術総合研究所, 3.光洋サーモシステム)
13:45 〜 14:00
〇佐藤 和重1、遠江 栄希1、千葉 貴史1, 3、寺田 昌男1, 3、中戸 克彦1、三浦 典子1、池田 伸一1, 2、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研, 3.坂口電熱)
14:00 〜 14:15
〇李 寧1、羽深 等1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2, 3、石田 夕起2, 3、原 史朗2, 3 (1.横国大院工, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.産総研)
14:15 〜 14:30
〇奧田 修史1、武内 翔1, 2、扇子 義久1, 2、伊藤 孝宏1, 3、クンプアン ソマワン1, 4、原 史朗1, 4 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.リソテックジャパン, 3.オリエンタルモーター, 4.産総研)
14:30 〜 14:45
〇北山 侑司1、奥田 修史1、東野 泰英1、寶池 広由1、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)
14:45 〜 15:00
〇谷島 孝1、安井 政治1、クンプアン ソマワン1, 2、前川 仁1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)
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