[11a-A11-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[11a-A11-8] ラジアルおよびアジミューサル偏光ベッセルビームによるSiおよびAlの微細加工パターン形成メカニズムの研究

〇八木 隆志¹、関口 翔大¹、曽根 有紀¹、菅原 諒¹、北原 俊一¹、鈴木 貴士¹、牧野 渉¹ (1.東海大理)

キーワード：シリコン、ラジアル、ベッセル