[11a-A11-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[11a-A11-9] 四角穴加工のための分割構造複屈折素子

〇菊池 弘¹、安西 雄祐¹、水谷 彰夫¹、菊田 久雄¹、平井 義彦¹、川田 博昭¹ (1.大阪府立大院工)

キーワード：偏光ビーム、複屈折、穴加工