[11a-A14-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[11a-A14-4] テラヘルツパルス波を用いた膜厚計測の高分解能化

〇落合 孝典¹、高橋 一雄¹ (1.パイオニア)

キーワード：膜厚計測、テラヘルツ、FDTD法