[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-12] ミニマルダイボンディングプロセス

〇寶池 広由¹、居村 史人¹、宮本 清治^{1, 2}、クンプアン ソマワン^{1, 3}、原 史郎^{1, 3} (1.ミニマル, 2.石井工作研究所, 3.産総研)

キーワード：ミニマル