[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-2] 超臨界CO₂流体中における金属薄膜のエッチング

〇(M1)中村 良輝¹、渡邉 満洋¹、近藤 英一¹、ミハイル バクラノフ² (1.山梨大, 2.IMEC)

キーワード：超臨界流体、エッチング、磁性薄膜