[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [11a-A29-4] ナノシリコン弾道電子源を用いたCu薄膜のプリンティング堆積

〇須田 隆太郎¹、八木 麻実子¹、小島 明¹、Romain Mentek¹、白樫 淳一¹、越田 信義¹ (1.農工大・院･工)

キーワード：電子源、薄膜堆積、還元