2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-B1-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月11日(水) 08:30 〜 11:45 B1 (6B-101)

08:30 〜 08:45

[11a-B1-1] 立方晶窒化ホウ素(c-BN)薄膜のMBE成長におけるイオン照射の効果

〇平間 一行1、谷保 芳孝1、狩元 慎一1、山本 秀樹1 (1.NTT物性研)

キーワード：立方晶窒化ホウ素、イオンビームアシストMBE、ダイヤモンド