2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-B1-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月11日(水) 08:30 〜 11:45 B1 (6B-101)

08:45 〜 09:00

[11a-B1-2] MBE法で作製したScN薄膜のⅢ/Ⅴフラックス比依存性

〇大垣 武1、坂口 勲1、大橋 直樹1、羽田 肇1 (1.物材機構)

キーワード:窒化スカンジウム、薄膜、分子線エピタキシー