[11a-B2-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-B2-1] デスクトップ型液晶マトリックス投影露光装置の最適Fナンバの検討

〇堀内 敏行¹、小山 宗一郎¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：リソグラフィ、投影露光、Fナンバ