[11a-B2-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-B2-10] ポリスチレンに対する高選択比ＰＭＭＡエッチング

〇下向 主真¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府大工)

キーワード：ドライエッチング、ポリスチレン、PMMA