[11a-B2-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [11a-B2-5] 高次高調波を用いたコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるパタン欠陥観察(II)

〇藤野 貴大¹、田中 祐輔¹、原田 哲男¹、永田 豊²、渡邊 健夫¹、木下 博雄¹ (1.兵庫県立大学, 2.理化学研究所)

キーワード：EUVマスク、コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡、マスク観察