[11a-D1-1~8] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-2] 2段階アニールによるNb:TiO₂透明導電膜作製プロセスウィンドウの拡大

〇中尾 祥一郎^{1, 2}、廣瀬 靖^{1, 2, 3}、長谷川 哲也^{1, 2, 3} (1.KAST, 2.CREST, 3.東大理)

キーワード：ニオブドープ酸化チタン、スパッタ