[11a-D1-1~8] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-3] ポリカーボネート基板上V添加ZnO薄膜の低温成膜と評価

〇鈴木 智也¹、千葉 博²、安倍 大²、川島 知之^{1, 2}、鷲尾 勝由^{1, 2} (1.東北大工, 2.東北大院工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、バナジウム