[11a-D1-1~8] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-4] AZO透明導電膜における表面テクスチャ構造の制御と最適化

〇山中 俊憲¹、宇於崎 涼介¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大　OEDS R&D センター)

キーワード：AZO、TCO、ZnO