2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-1~8] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年3月11日(水) 09:30 〜 11:45 D1 (16-101)

10:15 〜 10:30

[11a-D1-4] AZO透明導電膜における表面テクスチャ構造の制御と最適化

〇山中 俊憲1、宇於崎 涼介1、宮田 俊弘1、南 内嗣1 (1.金沢工大 OEDS R&D センター)

キーワード:AZO、TCO、ZnO