[11a-D1-1~8] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11a-D1-7] Tight-Binding量子分子動力学法を用いたアモルファスIGZOの構造計算

〇森田 晋也¹、伊藤 寿²、樋口 祐次²、尾澤 伸樹²、久保 百司² (1.（株）神戸製鋼所, 2.東北大工)

キーワード：酸化物半導体、分子動力学、アモルファス材料