[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[11a-D8-1] (CH)_nポリマーとAl₂O₃(0001)との反応によるAl₄C₃のエピタキシャル成長

大見 浩輔¹、長谷川 幸樹²、柳瀬 隆²、長浜 太郎²、〇島田 敏宏² (1.北大総化, 2.北大工)

キーワード：Al4C3、ダイヤモンドライクカーボン、サファイア