11:15 〜 11:30
[11a-D8-9] 室温でガラス化硬化するSiO2膜の封止スペース内形成
キーワード：室温ガラス化硬化、SiO2膜、封止スペース
講演情報
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料
2015年3月11日(水) 09:00 〜 11:45 D8 (16-303)
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
2015年3月11日(水) 09:00 〜 11:45 D8 (16-303)
11:15 〜 11:30
キーワード：室温ガラス化硬化、SiO2膜、封止スペース