[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-11] 種々の炭化水素を原料として極低温合成したa-C:Hの物性評価

〇齋藤 登之¹、内藤 瑛慈¹、小林 直樹¹、佐藤 哲也¹ (1.山梨大医工総研)

キーワード：アモルファスカーボン、極低温