[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-13] アモルファス炭素膜の電気的特性に及ぼす安定同位体の影響

〇鈴木 裕太郎¹、鈴木 常生²、神田 一浩³、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大, 2.長岡技科大, 3.兵庫県立大)

キーワード：アモルファス炭素、同位体効果