[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-15] 極低温合成a-C:F膜のマイクロスクラッチ試験による密着性評価

〇曽我 遥華¹、山井 孝太¹、森川 恭兵¹、佐藤 哲也¹、中川 清和¹ (1.山梨大院医工総研)

キーワード：パーフルオロカーボン、密着性、極低温