[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-17] Arのマイクロ波放電フローにおける有機ケイ素化合物の解離励起反応解析

〇(M1)佐伯 駿介¹、熊倉 基起¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：アモルファス炭化ケイ素膜