[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-4] 簡易リソプロセスを用いた≈１μｍ径の高品質柱状ダイヤモンド周期構造の作製とその粒子検出器への応用

〇清水 彰人¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド