[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-6] ホウ素ドープCVDダイヤモンド薄膜における 過渡光容量法による結晶欠陥評価

〇堀 敬憲¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド