2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月11日(水) 09:30 〜 11:30 P4 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

[11a-P4-6] ホウ素ドープCVDダイヤモンド薄膜における 過渡光容量法による結晶欠陥評価

〇堀 敬憲1、毎田 修1、伊藤 利道1 (1.阪大院工)

キーワード:ダイヤモンド