[11p-A11-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [11p-A11-14] ZnOバッファ層の四光束干渉UVレーザー照射によるパターン加工とZnO微小結晶の作製

〇(DC)下垣 哲也¹、川原 裕貴¹、中尾 しほみ¹、東畠 三洋¹、池上 浩¹、中村 大輔¹、中田 芳樹²、岡田 龍雄¹ (1.九州大学, 2.大阪大学)

キーワード：酸化亜鉛、干渉レーザー、ナノ・マイクロ結晶