[11p-A11-1~14] 3.7 レーザープロセシング

△ [11p-A11-2] レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究

〇出口 亮¹、田中 のぞみ²、増田 将也¹、砂原 淳²、村上 匡且¹、余語 覚文¹、西村 博明¹ (1.阪大レーザー研, 2.レーザー総研)

キーワード：EUV応用、物質アブレーション、プラズマ膨張