[11p-A12-1~15] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[11p-A12-14] ドレスト光子フォノンエッチングによる半導体の表面損傷の修復

〇野村 航¹、川添 忠¹、八井 崇¹、大津 元一¹ (1.東大院工)

キーワード：ドレスト光子、SiC