[11p-A14-1~15] 3.8 光計測技術・機器

[11p-A14-12] ヘテロダインレーザ干渉計用新方式デジタル位相差計測法

〇穀山 渉¹、野里 英明¹、大田 明博¹ (1.産総研 計測標準)

キーワード：レーザヘテロダイン干渉計、位相差計測装置