PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 1 14:30 〜 14:45 [11p-A16-3] 波長405/488nm領域におけるSiON導波路の光学特性 〇高 磊1, 2、土澤 泰1, 2、岡崎 功太1, 2、井上 鈴代2、上野 祐子3、開 達郎1, 2、山本 剛2、山田 浩治1, 2 (1.NTT ナノフォトセンタ, 2.NTT 先端集積デバイス研, 3.NTT 物性科学基礎研) キーワード:SiON、シリコンフォトニクス、可視光用導波路