[11p-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-A16-3] 波長405／488nm領域におけるSiON導波路の光学特性

〇高 磊^{1, 2}、土澤 泰^{1, 2}、岡崎 功太^{1, 2}、井上 鈴代²、上野 祐子³、開 達郎^{1, 2}、山本 剛²、山田 浩治^{1, 2} (1.NTT ナノフォトセンタ, 2.NTT 先端集積デバイス研, 3.NTT 物性科学基礎研)

キーワード：SiON、シリコンフォトニクス、可視光用導波路