[11p-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-A16-5] 合成石英基板上水素化アモルファスシリコン細線導波路

〇岡野 誠¹、面田 恵美子¹、前神 有里子¹、渥美 裕樹¹、榊原 陽一¹、亀井 利浩¹、森 雅彦¹ (1.産総研)

キーワード：石英、光導波路