[11p-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-A16-7] Siの結晶異方性エッチングを利用したスポットサイズ変換器

〇宮村 悟史¹、小野 英輝¹、岡部 豊¹、太縄 陽介¹、八重樫 浩樹¹、堀川 剛^{1, 2}、平山 直紀²、佐々木 浩紀¹ (1.PETRA, 2.産総研)

キーワード：Si細線導波路、スポットサイズ変換器、偏波無依存