[11p-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[11p-A16-8] SiO₂スペーサ付スポットサイズ変換器:スペーサ膜厚依存性評価

〇前神 有里子¹、岡野 誠¹、武井 亮平¹、面田 恵美子¹、天野 建¹、森 雅彦¹、榊原 陽一¹、亀井 利浩¹ (1.産総研)

キーワード：スポットサイズ変換器、シリコンフォトニクス