[11p-A19-9~15] 2.2 検出器開発

[11p-A19-9] 走査透過型電子顕微鏡搭載用TES型マイクロカロリメータEDSシステムの開発

〇前畑 京介¹、原 徹²、満田 和久³、日高 睦夫⁴、田中 啓一⁵、山中 良浩⁶ (1.九大院工, 2.NIMS, 3.JAXA, 4.産総研, 5.日立ハイテクサイエンス, 6.大陽日酸)

キーワード：TES型マイクロカロリメータ、エネルギー分散型スペクトル計測、走査透過型電子顕微鏡