[11p-A21-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-A21-1] Arイオン照射によるダイヤモンド半導体用オーミック電極の形成

〇関 裕平¹、星野 靖¹、斎藤 保直¹、中田 穣治¹ (1.神奈川大理)

キーワード：ダイヤモンド半導体、オーミック電極