[11p-A21-1~12] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-A21-7] 光照射下におけるn型GaN中プラズマ照射誘起欠陥の挙動の温度依存性

〇折茂 力都¹ (1.首都大理工)

キーワード：プラズマ照射誘起欠陥