[11p-A23-1~13] 13.5 デバイス／集積化技術

△ [11p-A23-9] チャージポンピング電流の実時間計測による電子捕獲過程の解析

〇堀 匡寛¹、渡辺 時暢¹、土屋 敏章²、小野 行徳¹ (1.富山大工, 2.島根大総合理工)

キーワード：チャージポンピング、電子捕獲過程、実時間計測