PDF ダウンロード スケジュール 6 いいね! 0 16:15 〜 16:30 [11p-A25-11] Sn添加シリコン酸窒化膜のフォトルミネッセンス特性評価 〇(M1C)川俣 明1、竹内 寛稀1、鈴木 拓也1、呉 研1、高橋 芳浩1 (1.日大理工) キーワード:フォトルミネッセンス、シリコン酸窒化膜