2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.1 X線技術

[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:30 A26 (6A-201)

15:30 〜 15:45

[11p-A26-9] 点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定

〇砂山 諒1、豊田 光紀1、柳原 美廣1 (1.東北大多元研)

キーワード:EUV顕微法、干渉測定