[11p-A26-1~16] 7.1 X線技術

△ [11p-A26-9] 点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定

〇砂山 諒¹、豊田 光紀¹、柳原 美廣¹ (1.東北大多元研)

キーワード：EUV顕微法、干渉測定