2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[11p-A27-1~4] 8.2 プラズマ診断・計測

2015年3月11日(水) 14:00 〜 18:00 A27 (6A-202)

14:00 〜 14:15

[11p-A27-1] RF印加電圧波形解析と中性粒子ビーム加速機構のモデル化2

〇榊原 康明1、菊地 良幸1, 2、寒川 誠二2 (1.東京エレクトロン, 2.東北大学)

キーワード:マイクロ波プラズマ、中性粒子ビーム、モデリング