[11p-A27-1~4] 8.2 プラズマ診断・計測

[11p-A27-3] 分子性ガスを含むアルゴンプラズマにおける電子密度計測への飽和吸収分光法の応用

〇西山 修輔¹、王 恵民¹、佐々木 浩一¹ (1.北大院工)

キーワード：電子密度計測、飽和吸収分光法、アルゴンプラズマ