2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

16:45 〜 17:00

[11p-A29-11] 水蒸気酸化によるポーラスシリコンの3次元構造形成

〇出野上 真樹1、石黒 敬太1、青木 画奈1、藤井 稔1 (1.神戸大院工)

キーワード：ポーラスシリコン